8英寸MEMS晶圆生产线之全自动晶圆外观检验设备 - 国际招标公告 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于 $2025-$ 01-27在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:设备名称：全自动晶圆外观检验设备

设备数量：1台

设备用途：全自动晶圆外观检验，通过把光信号转换成灰阶后用数学算法进行扫描比对检出缺陷的检验机台，对针对晶圆表面的颗粒污染、光刻胶残留、显影不良、图形脱胶、线连接、断线等各种类型缺陷有较好的检出率及较高的检测效率。基于高可靠性的检测，有助于确保晶圆制造工艺参数符合设计需求，并确定潜在的问题来源，及时采取修正措施，从而达到减少缺陷、提升产线良率的目的。特殊用途为根据产品双面工艺需求，全自动外观全检时wafer的正背面都不能接触工作台以及手臂。

资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:0664-2540SUMECA28/13 招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之全自动晶圆外观检验设备

项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):

序号产品名称		数量简要技术规格		备注
1	全自动晶圆外观检验设备		Verification Optic 2X,5X,10X,20X(20X仅 review 使用)； 2D 明暗场扫描检出能力 Min detection ≤1μm; 其他参数详见第八章	无

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩: ① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。

② 投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。

$\circled{4}$ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。

$\circled{5}$ 单位负责人授权书原件。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以