招标公告

1. 招标条件

本招标项目中束流离子注入机招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为 $100%$ 。该项目已具备招标条件，现对中束流离子注入机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20250429A001

2.2 招标项目名称：中束流离子注入机。

2.3 数量：1 台。

2.4 主要功能要求：本次购买的中束流离子注入机用于晶圆掺杂工艺。其原理是通过先将所需杂质电离，然后由电场引出，再通过磁场筛选，形成一个集中的离子束，最终注入到硅片中，达到掺杂目的。中束流离子注入机由气源柜、离子源腔室、离子束腔室、工艺腔室、传送模块、操作控制模块、厂务动力模块等模组组成。

2.5 交货地点：重庆市沙坪坝区西永大道 23 号

2.6 交货期：合同生效后 6 个月。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照。

3.2 业绩要求：投标人需提供本次投标同型号或同系列的中束流离子注入机设备从 2022 年至今累计销售量至少 5 台并验收合格的业绩；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物名称及其型号；同时提供验收合格的证明材料。

3.3 其它要求：本次招标不接受代理商投标。

3.4 本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。