8英寸MEMS晶圆生产线之在线修调系统 - 国际招标公告 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于 $2025-$ 05-09在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:设备名称：在线修调系统
数量：1套
设备原理及用途
a.设备原理
激光调阻是指通过激光能量、斑点大小、移动速度、修调形状等编程设置切割电阻，改变电阻结构尺寸从而改变电阻的阻值。运用激光微调技术配合晶圆测试系统自动完成晶圆测试-修调-测试流程，实现自动在线对晶圆片上电阻进行微调，以使电阻达到精确的目标阻值，主要针对薄膜电阻，例如硅镍、硅铬等电阻材料。
b.设备用途
用于运算放大器晶圆制程薄膜电阻在线修调（自动完成晶圆测试-修调-测试流程）。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:0664-2540SUMECF08/04
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之在线修调系统
项目实施地点:中国安徽省

招标产品列表(主要设备):

	序号产品名称数量简要技术规格		备
	在线修调系统1		支持硅片厚度300um～1000um的6时和8时晶圆手动上下片。其他参数详见第八章无

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩: ① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
② 投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
$\textcircled{4}$ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
$\textcircled{5}$ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2025-05-09招标文件领购结束时间:2025-05-20

是否在线售卖标书:否