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8英寸MEMS晶圆生产线之BCB匀胶机国际招标公告(1)

安徽

发布时间:2025-05-14招标公告

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业主单位
安徽华鑫微纳集成电路有限公司

8英寸MEMS晶圆生产线之BCB匀胶机 - 国际招标公告 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于 $2025-$ 05-14在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:设备名称:BCB匀胶机

数量:1台设备原理及用途:

基本原理:通过高速旋转晶圆,利用离心力将光刻胶均匀铺展在晶圆表面,形成厚度可控的胶膜。在曝光后用显影液溶解光刻胶的曝光和未曝光部分,形成所需的微细图案。
用途:本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产光刻工艺加工中的匀胶和显影工序。资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:0664-2540SUMECA83/12招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之BCB匀胶机项目实施地点:中国安徽省

招标产品列表(主要设备):

序号产品名称数量简要技术规格V大标平台 V大标平台
BCB匀胶机1该设备主要由主控制系统、机械传输系统、匀胶模块、显影模块、增粘模块、烘烤冷

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩: ① 投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。

② 投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。③ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
$\textcircled{4}$ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺书格式自拟)。
$\textcircled{5}$ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4、招标文件的获取

招标文件领购开始时间:2025-05-14
招标文件领购结束时间:2025-05-21
是否在线售卖标书:否

招标文件的获取

1、获取截止时间:2025-05-21 23:59
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联系人:王帆电话:010-68809287邮箱:kefu@dlnyzb.com
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