HF气相刻蚀设备采购项目 - 国际招标公告 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2025-06-05在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:购置HF气相刻蚀设备1套。
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实。
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件。

2、招标内容

招标项目编号:0618-254TC259Q05M/01
招标项目名称:HF气相刻蚀设备采购项目
项目实施地点:中国广东省
招标产品列表(主要设备):

序号产品名称		数量简要技术规格		备注
			*5.4.1催化剂：水作催化剂，没有添加任何其他催化剂。 *5.4.2释放良率：无黏附的干法释放，Mems结构100%完全释放。 HF气相刻蚀设备1套*5.4.3刻蚀速率：悬臂结构大于0.3 um/min；空白暴露氧化硅大交货时间：合F 于0.1um/min。*5.4.4片内均匀性≤5%1。*5.4.5片间均匀性 ≤5%1。*5.4.6选择比：对PECVD氮化硅30:1。

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩:详见投标资料表。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4、招标文件的获取

招标文件领购开始时间:2025-06-05
招标文件领购结束时间:2025-06-12
是否在线售卖标书:否